Microscope GéminiSEM 560

Caractéristiques techniques

 

• Canon à émission de champ (FEG) ;
• Colonne électronique fonctionnant de 20 V à 30 kV avec un courant allant de 6 pA à 100 nA ;
• Mode imagerie en haute résolution permettant une résolution de 0,8 nm à 1 kV et jusqu’à 0,5 nm à 30 kV sans polarisation d’échantillon ou en mode immersion dans un champ magnétique ;
• Mode : Haut vide, VP standard, Module nano VP (jusqu’à 500 Pa) ;
• 6 détecteurs pour l’imagerie électronique : in-lens SE, in-lens EsB, Everhart-Thornley SE2, aBSD4 (e- rétrodiffusés HV et VP standard), C2D (e- secondaires en VP/nano VP), aBSD1 (e- rétrodiffusés nano VP) ;
• Analyse cristallographique (EBSD) ;
• Analyse chimique (EDS).
• Équipements principaux pour la caractérisation cristallographique et chimique :
• Caméra EBSD EDAX Velocity Plus (jusqu’à 3000 pts/sec) ;
• Détecteur EDS EDAX Octane Elect Super 70 mm² ;
• Logiciel APEX pour l’acquisition
• EDAX OIM Matrix Software pour l’analyse.
• Platines additionnelles : Platine de traction Kammrath avec montage adapté pour analyse EBSD