Microscope MEB Leo Gemini 1530

Zeiss

Caractéristiques techniques

  • Canon à émission de champ (FEG)
  • Colonne électronique fonctionnant de 0,2 à 30 kV
  • Mode imagerie en haute résolution avec une résolution de 1 nm (20 kV) à 3 nm (à 1 kV)
  • 3 détecteurs électroniques (Everhart-Thornley, in-lens et BSE)
  • Analyse cristallographique par diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD) EDAX
  • Plasma cleaner (azote)

Platines additionnelles

  • Platine de traction DEBEN 1 kN
  • Platine eucentrique 5 axes Kleindiek Nanotechnik

 

Contact