Microscope MEB Leo Gemini 1530
Caractéristiques techniques
- Canon à émission de champ (FEG)
- Colonne électronique fonctionnant de 0,2 à 30 kV
- Mode imagerie en haute résolution avec une résolution de 1 nm (20 kV) à 3 nm (à 1 kV)
- 3 détecteurs électroniques (Everhart-Thornley, in-lens et BSE)
- Analyse cristallographique par diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD) EDAX
- Plasma cleaner (azote)
Platines additionnelles
- Platine de traction DEBEN 1 kN
- Platine eucentrique 5 axes Kleindiek Nanotechnik
Contact
Centre d'Expérimentation et de Développement
Thomas REISS
Ingénieur d'études