Experimental study and modeling of extreme ultraviolet 4000 lines/mm diffraction gratings coated with periodic and aperiodic Al/Mo/SiC multilayers

Publié le 10 janvier 2024 - Applied optics

Auteurs : Amr Hisham K. Mahmoud, Sébastien de Rossi, Evgueni Meltchakov, Blandine Capitanio, Muriel Thomasset, Maxime Vallet, Franck Delmotte