Microscope MET TITAN3 G2 80-300

FEI-ThermoFisher

Ce microscope fait partie du parc instrumental de l'EquipEx MatMeca (ANR-10-EQPX-37) qui répond aux problématiques d'élaboration et de caractérisation des matériaux destinés aux secteurs de l’énergie, des transports, de l’espace, des nanotechnologies et des biomatériaux.

Fonctionnalités

  • Modes sonde (STEM) et conventionnel (TEM) ;
  • Spectroscopie par dispersion d'énergie des rayons X (EDX) ;
  • Spectroscopie par pertes d'énergie des électrons (EELS) ;
  • Microscopie in-situ ;
  • Tomographie ;
  • Diffraction électronique par précession ;
  • Holographie.

Caractéristiques techniques

  • Canon haute brillance X-FEG ;
  • Haute tension HT = 80, 200 et 300 kV ;
  • Correcteur d'aberrations sphériques en mode sonde (STEM) (CEOS-Dcor-Cs), permettant d'atteindre une résolution ultime de 70 pm ;
  • Détecteurs STEM : champ clair (BF), champ sombre (DF2, DF4 et HAADF) ;
  • Caméra CCD 2k Ultrascan 1000 XP TEM (Gatan) ;
  • Détecteur EDX Super X comportant 4 détecteurs SSD permettant la détection d'éléments légers (C, O...) ;
  • Détecteur EELS Enfinium (Gatan) avec une résolution de 0,8 eV ;
  • Biprisme pour l'holographie

Porte-objet

  • Les pièces polaires S-TWIN génèrent un espace suffisamment important (4,5 mm) pour permettre une grande amplitude de rotation pour un porte-objet standard.
  • Simple tilt standard (FEI) ;
  • Double tilt en béryllium (compatible avec l'acquisition EDX) (FEI) ;
  • Protochips Fusion pour analyse électro-thermique in-situ ;
  • Gatan 671 simple tilt en traction-compression (déplacement imposé) refroidi à l'azote liquide pour essais mécaniques in situ (plage de température allant de -170 à +40 °C) ;
  • Fischione 2040 tilt-rotation pour la tomographie (angle de tilt de ±70 deg.).

 

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